2.運動精度±0.005mm 3.雙工位,多個CCD同時檢測 4.重復性好" />
設備
Z高檢測設備
外形尺寸(mm)
2200x1800x2000
設備重量(kg)
900
運動行程(mm)
700x500x200
載具定位精度(mm)
±0.03
重復定位精度
±0.01
Z軸負載(kg)
10
控制方式
伺服
驅動方式
模組
檢測材料
FR4、FR5等